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芯源微接受機(jī)構(gòu)調(diào)研時(shí)表示，此前公司首臺(tái)浸沒(méi)式高產(chǎn)能涂膠顯影機(jī)順利運(yùn)付客戶現(xiàn)場(chǎng)，并完成了各項(xiàng)工藝驗(yàn)證及光刻機(jī)聯(lián)機(jī)產(chǎn)能驗(yàn)證。機(jī)臺(tái)與國(guó)際主流光刻機(jī)聯(lián)機(jī)作業(yè)，完成了客戶端十余款光阻、多層layer量產(chǎn)驗(yàn)證，數(shù)據(jù)均達(dá)到客戶量產(chǎn)指標(biāo)。浸沒(méi)式高產(chǎn)能涂膠顯影機(jī)的發(fā)布，標(biāo)志著公司在前道涂膠顯影領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了對(duì)28nm及以上所有工藝節(jié)點(diǎn)的全覆蓋，即可實(shí)現(xiàn)全面國(guó)產(chǎn)替代。
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