(資料圖片)
漢鐘精機(jī)接受機(jī)構(gòu)調(diào)研時(shí)表示，公司氫能源用空壓泵目前還在研發(fā)、驗(yàn)證階段。公司半導(dǎo)體真空泵在清潔、中度嚴(yán)苛、嚴(yán)苛制程都有在推廣使用，具體運(yùn)用于LL、去膠、刻蝕、PVD、CVD等制程。目前多用于相對(duì)潔凈的制程。
關(guān)鍵詞： 漢鐘精機(jī)
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漢鐘精機(jī)接受機(jī)構(gòu)調(diào)研時(shí)表示，公司氫能源用空壓泵目前還在研發(fā)、驗(yàn)證階段。公司半導(dǎo)體真空泵在清潔、中度嚴(yán)苛、嚴(yán)苛制程都有在推廣使用，具體運(yùn)用于LL、去膠、刻蝕、PVD、CVD等制程。目前多用于相對(duì)潔凈的制程。
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